央廣網(wǎng)北京7月25日消息（記者 齊智穎 實(shí)習(xí)生 謝容容）“目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率不到10%，仍具有非常大的市場(chǎng)成長(zhǎng)空間。”中科飛測(cè)董事長(zhǎng)、總經(jīng)理陳魯日前做客《滬市匯·硬科硬客》第十期節(jié)目“半導(dǎo)體設(shè)備突圍關(guān)鍵局”時(shí)表示，中科飛測(cè)布局的高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制領(lǐng)域是貫穿集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對(duì)芯片生產(chǎn)良品率的影響至關(guān)重要。

陳魯指出，檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備領(lǐng)域一直是核心設(shè)備中比較薄弱的環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)將極大提升國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈的整體實(shí)力，對(duì)原本薄弱環(huán)節(jié)的作用更是能看到大的飛躍。

“在核心技術(shù)上持續(xù)研發(fā)突破，在產(chǎn)品迭代升級(jí)上快速推進(jìn)，在客戶服務(wù)上全面覆蓋，在品牌口碑上快速提升，全面緊跟國(guó)內(nèi)客戶的工藝發(fā)展需求。”面對(duì)產(chǎn)業(yè)機(jī)會(huì)，陳魯表示中科飛測(cè)將全面把握，努力實(shí)現(xiàn)趕超。

“未來(lái)在國(guó)際市場(chǎng)中，國(guó)產(chǎn)設(shè)備將能夠與國(guó)際龍頭企業(yè)全面競(jìng)爭(zhēng)，隨著海外市場(chǎng)的開(kāi)拓，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的能力和口碑將有更大的提升。”陳魯強(qiáng)調(diào)。

中科飛測(cè)董事長(zhǎng)、總經(jīng)理 陳魯

性能指標(biāo)均對(duì)標(biāo)海外壟斷企業(yè)

根據(jù)SEMI（國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）統(tǒng)計(jì)，2023年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額為366億美元，連續(xù)第四年成為全球最大半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)。

近年來(lái)，得益于中國(guó)半導(dǎo)體全行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國(guó)家近年來(lái)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)的政策扶持，行業(yè)下游晶圓廠在關(guān)鍵工藝節(jié)點(diǎn)上持續(xù)推進(jìn)，多家國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造企業(yè)進(jìn)入產(chǎn)能擴(kuò)張期，中國(guó)大陸半導(dǎo)體檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)處于高速發(fā)展期。

根據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2019年至2022年中國(guó)大陸半導(dǎo)體檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模的年均復(fù)合增長(zhǎng)率為33.5%，預(yù)計(jì)2023年將進(jìn)一步增長(zhǎng)。

“中科飛測(cè)由中國(guó)科學(xué)院微電子研究所孵化而來(lái)，剛成立時(shí)，我們的凈化間實(shí)驗(yàn)室就在微電子所里面。當(dāng)時(shí)沒(méi)有場(chǎng)地，就在隔一條街租了一個(gè)200平方米的住宅，家具拆掉放上辦公桌。”陳魯表示初創(chuàng)企業(yè)異常艱辛。

據(jù)陳魯介紹，中科飛測(cè)一步步吸收光學(xué)、機(jī)械、軟件算法等各專業(yè)人才，不斷擴(kuò)充隊(duì)伍規(guī)模，技術(shù)均為自主研發(fā)的成果。在成立初期和上市前，得到了許多頭部產(chǎn)業(yè)基金的投資，這為該公司帶來(lái)了前期所需的資金和產(chǎn)業(yè)資源的支持。

科創(chuàng)板的推出加快了中科飛測(cè)的上市進(jìn)程。大基金二期作為戰(zhàn)略配售投資者參與認(rèn)購(gòu)中科飛測(cè)5.3%的IPO股份，2023年5月，中科飛測(cè)在科創(chuàng)板上市。

“在業(yè)務(wù)增長(zhǎng)最快速、需要增量、對(duì)資金需求最強(qiáng)時(shí)，中科飛測(cè)在科創(chuàng)板上市，科創(chuàng)板讓公司有了充足的資金支持批量生產(chǎn)，大范圍擴(kuò)張客戶。”陳魯肯定了科創(chuàng)板對(duì)公司業(yè)務(wù)的積極作用。

“除了資金支持之外，我們最需要的是產(chǎn)業(yè)機(jī)會(huì)，客戶給予機(jī)會(huì)。有優(yōu)秀的人才，同時(shí)還要有‘工匠精神’，所有的設(shè)備追求細(xì)節(jié)才能做好，正所謂‘慢工出細(xì)活’。”陳魯如是表示。

提及近年來(lái)取得的成就，陳魯介紹，中科飛測(cè)已布局形成9大系列設(shè)備和3大系列智能軟件的產(chǎn)品組合，是國(guó)內(nèi)規(guī)模最大、研發(fā)實(shí)力最強(qiáng)、設(shè)備種類最多的半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)，設(shè)備的各項(xiàng)性能指標(biāo)都能夠?qū)��?biāo)海外壟斷企業(yè)，在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)與海外壟斷企業(yè)形成全面競(jìng)爭(zhēng)。

“重點(diǎn)研發(fā)專項(xiàng)、科創(chuàng)板上市、人才引進(jìn)、財(cái)政補(bǔ)貼、稅收優(yōu)惠等政策為產(chǎn)業(yè)提供了技術(shù)、人才和資金支持，使得近年來(lái)產(chǎn)業(yè)和公司得以快速發(fā)展。”陳魯期待出臺(tái)更多聚焦設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈的政策，推動(dòng)鏈?zhǔn)桨l(fā)展，加強(qiáng)設(shè)備跟零部件的協(xié)同發(fā)展，例如加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)集聚和園區(qū)建設(shè)等。

緊跟客戶工藝技術(shù)創(chuàng)新需求

盡管中國(guó)連續(xù)四年成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，但目前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)主要被海外企業(yè)所占據(jù)，全球市場(chǎng)也仍處于外企寡頭壟斷局面。

陳魯表示，在量檢測(cè)設(shè)備行業(yè)，海外的壟斷型設(shè)備企業(yè)占據(jù)了全球50%以上的市場(chǎng)，與之相比，國(guó)產(chǎn)廠商在歷史、規(guī)模和品牌知名度等方面均存在劣勢(shì)。

“我們已有的一些研發(fā)設(shè)備，在不到十年的時(shí)間就能夠走過(guò)國(guó)外設(shè)備廠商幾十年走完的研發(fā)道路。我們從售前、研發(fā)，到批量生產(chǎn)，到售后，整個(gè)過(guò)程形成一個(gè)閉環(huán)，并且快速迭代。”陳魯表示，中科飛測(cè)在以更短的時(shí)間、更快的速度追趕國(guó)外發(fā)展的進(jìn)程。

陳魯分享了中科飛測(cè)的趕超路徑——緊跟國(guó)內(nèi)客戶的關(guān)鍵工藝技術(shù)創(chuàng)新所帶來(lái)的新需求。

陳魯表示，隨著制程越來(lái)越先進(jìn)、工藝環(huán)節(jié)不斷增加，行業(yè)發(fā)展對(duì)工藝控制水平提出了更高的要求，制造過(guò)程中檢測(cè)設(shè)備與量測(cè)設(shè)備的技術(shù)要求及需求量持續(xù)提升。

“現(xiàn)在我們的波長(zhǎng)覆蓋到深紫外、近紫外、可見(jiàn)光、近紅外，仍是一個(gè)非常窄的范圍。而從客戶的創(chuàng)新要求來(lái)看，需要覆蓋到更短波長(zhǎng)的真空紫外區(qū)，更長(zhǎng)波長(zhǎng)的中紅外甚至遠(yuǎn)紅外區(qū)，才能夠獲得更好的分辨率以及穿透性，從而適應(yīng)從二維到三維的發(fā)展趨勢(shì)。”陳魯舉例說(shuō)明行業(yè)發(fā)展對(duì)量檢測(cè)設(shè)備提出的新要求給國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)帶來(lái)的新機(jī)會(huì)。

陳魯表示，中科飛測(cè)始終堅(jiān)持創(chuàng)新及差異化發(fā)展戰(zhàn)略，在檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備的研發(fā)中，該公司攻克了多項(xiàng)設(shè)備關(guān)鍵模塊自主化開(kāi)發(fā)難題，技術(shù)創(chuàng)新能力得到顯著提升；在智能軟件產(chǎn)品研發(fā)中，該公司將人工智能和大數(shù)據(jù)技術(shù)應(yīng)用到半導(dǎo)體質(zhì)量控制數(shù)據(jù)上，形成了一系列提升高端半導(dǎo)體制造良率的軟件產(chǎn)品。

目前，中科飛測(cè)已形成深紫外成像掃描技術(shù)、高精度多模式干涉量測(cè)技術(shù)、基于參考區(qū)域?qū)Ρ鹊娜毕葑R(shí)別算法技術(shù)等多項(xiàng)核心技術(shù)。

同時(shí)，陳魯強(qiáng)調(diào)了產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同的重要性。他認(rèn)為，任何一個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的升級(jí)換代，不斷向高端方向前進(jìn)，都是設(shè)備企業(yè)和設(shè)備上游的所有零部件企業(yè)共同努力的結(jié)果。

“檢測(cè)設(shè)備所需要的零部件跟制程設(shè)備不太一樣，國(guó)內(nèi)在這方面比較薄弱，我們很早就開(kāi)始做這方面的工作了，也會(huì)自研零部件。”陳魯如是表示。

“我們不僅需要及時(shí)吻合零部件與機(jī)臺(tái)的推出時(shí)間，還需要供應(yīng)商跟我們?nèi)ネ瓿上乱淮�產(chǎn)品中零部件的研發(fā)。”據(jù)陳魯介紹，零部件研發(fā)的過(guò)程是比較艱苦的，要求也很高。

“希望每一個(gè)進(jìn)入到集成電路行業(yè)、裝備行業(yè)的零部件廠商都有心理準(zhǔn)備，要跟我們一塊去努力、吃苦，跟我們一起去啃這些硬骨頭。”陳魯表示。

將與國(guó)際龍頭全面競(jìng)爭(zhēng)

隨著國(guó)內(nèi)市場(chǎng)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的政策支持力度持續(xù)加大，設(shè)備在本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的核心地位日益凸顯，不論是產(chǎn)業(yè)升級(jí)，還是自主可控，工藝設(shè)備突破的重要性和緊迫性都顯著提升。

“半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)將極大提升國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈的整體實(shí)力，對(duì)原本薄弱環(huán)節(jié)的提升更是能看到大的飛躍。”陳魯認(rèn)為，檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備領(lǐng)域一直是核心設(shè)備中比較薄弱的環(huán)節(jié)，國(guó)產(chǎn)化率不到10%，未來(lái)還有很大市場(chǎng)提升空間。

陳魯表示，中科飛測(cè)將充分把握機(jī)會(huì)，在核心技術(shù)上持續(xù)研發(fā)突破，在產(chǎn)品迭代升級(jí)上快速推進(jìn)，在客戶服務(wù)上全面覆蓋，在品牌口碑上快速提升，全面緊跟國(guó)內(nèi)客戶的工藝發(fā)展需求。

“未來(lái)在國(guó)際市場(chǎng)中，國(guó)產(chǎn)設(shè)備將能夠與國(guó)際龍頭企業(yè)全面競(jìng)爭(zhēng)，隨著海外市場(chǎng)的開(kāi)拓，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的能力和口碑將有更大的提升。”陳魯指出。

談及未來(lái)的發(fā)展規(guī)劃，陳魯表示，未來(lái)的3-5年，要盡力提升市占率。從長(zhǎng)期戰(zhàn)略來(lái)看，陳魯總結(jié)為“3+1”。

“3”代表三個(gè)維度，其一是設(shè)備的種類，其二是設(shè)備不斷升級(jí)迭代后所形成的工藝節(jié)點(diǎn)不斷提升，其三是海外開(kāi)拓的方向。

“+1”是指中科飛測(cè)推出了三個(gè)系列的軟件，軟件產(chǎn)品能夠把客戶現(xiàn)場(chǎng)在線的多種不同的檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備的數(shù)據(jù)串起來(lái)的一個(gè)中樞神經(jīng)，將這些數(shù)據(jù)串起來(lái)之后就能提供給客戶良率的進(jìn)一步分析，以及工藝上進(jìn)一步優(yōu)化的可能。

陳魯介紹，中科飛測(cè)將進(jìn)一步鞏固和提升核心技術(shù)實(shí)力，繼續(xù)發(fā)揮公司在銷售和客戶服務(wù)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，為客戶提供全方位的產(chǎn)品組合和服務(wù)，同時(shí)緊跟客戶的關(guān)鍵工藝技術(shù)創(chuàng)新所帶來(lái)的檢測(cè)和量測(cè)需求，進(jìn)一步提高產(chǎn)品的先進(jìn)性，加深與客戶合作的緊密度和深度。

“半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)充滿機(jī)遇和挑戰(zhàn)，尤其是高端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化，需要產(chǎn)業(yè)、企業(yè)、政府等多方合力突破。”陳魯總結(jié)。（央廣資本眼）